用尘埃粒子计数器对高效过滤器检测检漏方法及检测检漏标准：用大气尘为尘源与粒子计数器配合，对高效过滤器作检漏检查。打开风机，在离高效过滤器表面25mm处采用尘埃粒子计数器扫描检测，扫描速度为5cm-30 cm /s，检测出0.5μm的微粒数不得超过3500粒/m3。

尘埃粒子计数器高效过滤器检漏方法：

洁净度级别等于或高于100级的洁净车间的高效过滤器安装前必须作现场检漏，重点是检查过滤器有无破损漏泄等自身质量。

所有级别的洁净车间，都要求对其安装好的高效过滤器作检漏，在现行规范没有给出检查数量时，可以自定一个比例，安装检漏的重点是空气过滤器边框密封质量。

高效过滤器检漏常用的仪器有:尘埃粒子计数器和5C气溶胶发生器。

用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了，微处理器控制，可贮存、打印测量结果，测试洁净环境十分便利。

5C气溶胶发生器

5C气溶胶发生器能产生一致的多种直径分布的气溶胶粒子，TDA-5C气溶胶发生器与TDA-2G或TDA-2H等气溶胶光度计配合使用时能提供足够的挑战粒子去测量高效过滤系统。

洁净室高效过滤器粒子计数器法检漏的一般规定

（1）被检过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%～120%之间运行。

（2）在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5ΜM微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5×`10^4`粒/L；若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1ΜM微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上风侧浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。

（4）检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2～3CM处，以5～20MM/S的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。